سمینار بررسی میكروپمپها و كاربرد آنها سمینار بررسی میكروپمپها و كاربرد آنها

دسته : مکانیک

فرمت فایل : pdf

حجم فایل : 4523 KB

تعداد صفحات : 144

بازدیدها : 525

برچسبها : پروژه تحقیق مبانی نظری

مبلغ : 8000 تومان

خرید این فایل

سمینار بررسی میكروپمپها و كاربرد آنها

تكنیك های مختلف ساخت میكرو بسیار متفاوت از تكنیك های ساختی هستند كه برای ماشین های معمولی بكار تولیدات میكرو سیستم ها و packaging میگیریم اگرچه برخی از تكنیك های ساخت سنتی و معمول را میتوان در و میكروسیستمها را نمیتوان از روشهای ساخت MEMS بكار گرفت تكنولوژی موجود جهت ساخت MEMS مورد استفاده در میكروالكترونیك جدا نمود این ارتباط نزدیك در ساخت

چكیده
در این مجموعه ، با توجه به تحقیقاتی كه تا كنون ارائه شده است ، ابتدا به معرف ی میكروپمپ ها پرداخته میشود . برای
درك بهتر مفاهیم اولیه ، میكروپمپها بر اساس روشهای مختلف راه اندازی میكروپمپ و تشریح چگونگی عمل پمپاژ
تقسیم بندی میشوند . در تقسیم بندی دیگری میكروپمپ ها بر اساس روش یكطرفه شدن جریان در آنها مورد بررسی
قرار میگیرند . با توجه به روش بكار اندازی میكروپمپ ، جریان سیال میتواند پیوسته و یا بصورت پالسی باشد . بدین
ترتیب میكروپمپ ها از این دیدگاه نیز بررسی شده و در نهایت با ارائه موارد كاربردی ، اهمیت ادامه تحقیقات در این
زمینه روشن خواهد شد .
تلاش شده است با دیدگاه ساخت نمونه ای نو ، اطلاعاتی مقدماتی در زمینه میكروپمپها گردآوری شود تا با توجه به
اهمیت فراوان و نیاز به كاربرد روزافزون میكروپمپ ها در تكنولوژی مدرن ، گامی كوچك در این امر برداشته شود .
لذا در این مجموعه به معرفی مواد مورد استفاده در ساخت میكروپمپها و بررسی خواص آنه ا نیز پرداخته میشود . سپس
packaging تكنیك های مختلف ساخت و پروسه های تولید معرفی خواهند شد . و در انتها مروری كوتاه بر
میكروپمپها خواهیم داشت .
امید است این مجموعه توجه علاقمندان را به كار در این زمینه جلب نماید ، كه در این صورت بخش بزرگی ازاهداف
برآورده شده است.

فهرست مطالب
عنوان مطالب شماره صفحه
چكیده 1
مقدمه 2
فصل اول : مروری بر تحقیقات گذشته 4
1-1 ° ) پیشینه میكروپمپها 5
2-1 ) روشهای به كار اندازی در میكروپمپها 8
3-1 ) یكسو سازی جریان سیال در میكروپمپها 18
در میكروپمپ ها 20 dosing 4-1 ) ویژگیهای
5-1 ) مروری بر میكروپمپ های جریان پیوسته 22
25 μTAS 6-1 ) میكروپمپ ها و
فصل دوم : مواد مورد استفاده در ساخت میكروپمپها 26
27 SUBSTRATES AND WAFERS (1-2
از جنس مواد فعال 28 substrate (2-2
28 SUBSTRATE 3-2 ) سیلیكون به عنوان ماده تشكیل دهنده
4-2 ) تركیبات سیلیكون 38
5-2 ) كریستالهای پیزوالكتریك 48
6-2 ) پلیمرها 50
54 PACKAGING MATERIALS (7-2
فصل سوم : پروسه های ساخت میكروپمپها 56
57 PHOTOLITHOGRAPHY (1-3
61 ION IMPLANTATION (2-3
64 DIFFUSION (3-3
فهرست مطالب
عنوان مطالب شماره صفحه
66 OXIDATION (4-3
72 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (5-3
81 PHYSICAL VAPOR DEPOSITION SPUTTERING (6-3
81 EPITAXY 7-3 ) رسوب گذاری بوسیله
8-3 ) میكروماشینكاری بالك 85
86 ETCHING (9-3
97 SURFACE MICROMACHINING (10-3
103 THE LIGA PROCESS (11-3
108 PACKAGING : فصل چهارم
مكانیكی میكروالكترونیك ها 109 packaging (1-4
میكروسیستمها 111 packaging (2-4
میكروسیستم 116 packaging 3-4 ) تقابل در
117 PACKAGING 4-4 ) تكنولوژی های ضروری در
سه بعدی 129 PACKAGING (5-4
6-4 ) مونتاژ میكروسیستمها 130
134 PACKAGING 7-4 ) انتخاب مواد برای
136 SIGNAL MAPPING AND TRANSDUCTION (8-4
فصل پنجم : بحث و نتیج هگیری 141
° بحث و نتیج هگیری 142
فهرست مطالب
عنوان مطالب شماره صفحه
فهرست منابع 143
چكیده انگلیسی 144

خرید و دانلود آنی فایل

به اشتراک بگذارید

مطالب مشابه :

مقاله بررسی دینامیک و ارتعاشات

یاتاقان

هیدرولیک

گزارش کار افت فشار در سیستم لوله کشی

آیا سوال یا مشکلی دارید؟

از طریق این فرم با ما در تماس باشید

پیام سیستم

ورود همکاران

رمز عبور را فراموش کرده ام